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  • 半導体LSI技術

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半導体LSI技術

  • 牧野博之/著 益子洋治/著 山本秀和/著 牧野 博之
    1983年3月京都大学理学部物理学科卒業。4月三菱電機株式会社入社。2003年4月株式会社ルネサステクノロジ。2008年4月より現職。現在、大阪工業大学情報科学部コンピュータ科学科准教授博士(工学)(東京大学)。受賞歴:Best Paper Award(IEEE International Conference on Computer Design 1993)、Best Paper Award(IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures 2007)。学会等:IEEE会員、電子情報通信学会員

    益子 洋治
    1977年3月東北大学大学院工学研究科博士前期課程修了。4月三菱電機株式会社入社。2003年4月株式会社ルネサステクノロジ。2005年4月より現職。現在、大分大学工学部電気電子工学科教授工学博士(大阪大学)。学会等:IEEE会員、応用物理学会員、LSIテスティング学会員、日本信頼性学会員

    山本 秀和
    1984年3月北海道大学大学院工学研究科博士後期課程修了。4月三菱電機株式会社入社。2010年4月より現職。現在、千葉工業大学工学部電気電子情報工学科教授工学博士(北海道大学)。学会等:応用物理学会員、電気学会員、電子情報通信学会員

  • シリーズ名
    未来へつなぐデジタルシリーズ 7
  • ISBN
    978-4-320-12307-6
  • 発売日
    2012年03月

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商品の説明

  • 半導体技術の歴史から応用にわたって、初学者向けに丁寧に解説した入門書。
目次
LSIとはなにか
半導体の物性
半導体デバイス
CMOSデジタル回路
CMOS論理設計
LSI設計フロー
レイアウト設計
LSIの性能
LSIの製造
シリコンウェーハ製造技術
微細パターン形成技術
トランジスタ形成技術
敗戦形成技術
パッケージング技術
計測・検査・評価技術とクリーン化技術

商品詳細情報

フォーマット 単行本
サイズ 26cm

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