Ｘ線光電子分光法「第２版」

元素組成と化学状態の定量分析を可能にするＸ線光電子分光法（ＸＰＳ）は、半導体デバイスの微細化、触媒、電池材料、有機薄膜など、先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として、その重要性を増している。本書は、実用的なＸＰＳ入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である。理論から測定・解析、そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する。１〜５章で、光電子発生の原理、装置構成、試料調製、測定・解析の要点といった、測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説。新設の６章「応用・発展」では、雰囲気測定、イメージング、時間分解測定など、最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した。ＸＰＳを初めて学ぶ学生から、実務に携わる研究者まで、すべての方の指針となる必携の一冊。

元素組成と化学状態の定量分析を可能にするX線光電子分光法（XPS）は，半導体デバイスの微細化，触媒，電池材料，有機薄膜など，先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として，その重要性を増している．
本書は，実用的なXPS入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である．理論から測定・解析，そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する．1〜5章で，光電子発生の原理，装置構成，試料調製，測定・解析の要点といった，測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説．新設の6章「応用・発展」では，雰囲気測定，イメージング，時間分解測定など，最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した．
XPSを初めて学ぶ学生から，実務に携わる研究者まで，すべての方の指針となる必携の一冊．

目次

1　X線光電子分光法（XPS）とは何か
　1.1　光電子分光法の特徴
　　◆コーヒーブレイク◆　光電子分光法で得られる情報とエネルギーの関係
　1.2　なぜXPSで表面を分析できるのか
　1.3　なぜXPSで元素組成を分析できるのか
　1.4　なぜXPSで化学状態を分析できるのか
　1.5　XPSの歴史と最近の潮流

2　光電子発生の原理
　2.1　励起光の入射
　　2.1.1　光のエネルギーと偏光
　　2.1.2　エネルギーの単位
　　2.1.3　光の吸収断面積と侵入深さ
　　2.1.4　X線の全反射と回折
　2.2　光吸収と励起
　　2.2.1　内殻電子と量子数
　　2.2.2　エネルギー準位
　　2.2.3　Fermi-Dirac分布
　　2.2.4　試料の仕事関数
　　2.2.5　光電子のエネルギー保存則
　　2.2.6　光電子の運動量保存則と反跳効果
　　2.2.7　Fermiの黄金律
　　2.2.8　Koopmansの定理
　　2.2.9　スピン軌道相互作用
　　2.2.10　Cooper極小
　2.3　二次緩和過程
　　2.3.1　プラズモン励起
　　2.3.2　Auger電子
　　2.3.3　Auger電子および蛍光X線の収率
　2.4　固体中の光電子の伝搬
　　2.4.1　脱出深さと表面感度
　　2.4.2　電子の吸収断面積
　　2.4.3　非弾性平均自由行程
　2.5　真空への脱出と試料の帯電
　　2.5.1　光電子の屈折
　　2.5.2　試料の帯電
　　2.5.3　空間電荷効果

ほか

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