３Ｄ半導体実装技術

二次元から三次元へ！微細化の限界を突破！
半導体の性能を大きく向上させる3次元実装技術！！
◆最新の後工程プロセスや関連技術について徹底的に詳説！
◆図解等を交えながら、複雑な組立やテストプロセスの詳細を分かりやすく解説！

【主な目次】
序論　三次元積層技術の展望と課題
第1章　設計技術
第2章　TSV(シリコン貫通電極)
第3章　接合技術
第4章　インターポーザー
第5章　アプリケーション
第6章　関連材料
第7章　信頼性

目次

序論　三次元積層技術の課題と展望
第1章　設計技術
　第1節　三次元実装に向けた設計技術（AIチップ）
　第2節　チップレット時代のアドバンスド半導体パッケージング設計
第2章　TSV（シリコン貫通電極）
　第1節　Si深掘り装置技術
　第2節　TSV向け低温プラズマCVD技術
　第3節　銅電解めっき技術
　第4節　銅配線（Cu）CMP技術
　第5節　ウエハ仮固定・剥離技術
　第6節　超薄化技術
第3章　接合技術
　第1節　バンプ接合
　　第1項　SAP（配線形成技術）
　　第2項　狭ピッチフリップチップバンプ接合
　第2節　ハイブリッド接合
　　第1項　プラズマ活性化
　　第2項　チップ接合
　　第3項　ウェハ接合（反り，残存応力，歪など）
　　第4項　クリーンダイシング
第4章　インターポーザー
　第1節　Chiplet Integrationの基礎と動向
　第2節　2.5D／3D実装におけるインターポーザーの進化とサプライチェーンの現在地，そして未来
　第3節　RDL（Redistribution Layer）インターポーザー
　第4節　ガラス貫通基板（TGV）への導電層形成技術
第5章　アプリケーション
　第1節　FOWLP／FOPLP，Siブリッジ
　第2節　イメージセンサ
　第3節　3Dフラッシュメモリ向けCMOS directly Bonded to Array（CBA）技術
　第4節　人工知能（AI）チップ
第6章　関連材料
　第1節　封止材
　　第1項　アンダーフィル
　　第2項　FO-WLP／PLP向けエポキシ樹脂成形材料について
　　第3項　アドバンスドパッケージに対応した最新樹脂封止技術
　第2節　CT型X線自動検査装置
　第3節　ウェーハプローバ
　第4節　放熱技術
第7章　信頼性
　第1節　三次元集積回路内で発生する機械的応力
　第2節　バウンダリスキャンによるTSV接続のテストと評価技術
　第3節　エレクトロマイグレーション

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