電子顕微鏡

電子顕微鏡は試料を拡大して形態や微細組織を観察するだけでなく、電子線を照射した微小領域から結晶構造・原子配列や化学組成・結合状態の情報を取得することが可能なため、材料やデバイスの研究開発における強力な分析評価装置である。とりわけ、ナノ〜原子スケールの空間分解能を有する透過電子顕微鏡（TEM）はナノテク関連分野の拡大に伴い、その重要性が増している。
本書では、電子顕微鏡の新規利用者を念頭に、活用する上で必要な基礎知識と具体的な技能修得について解説する。

目次

Chapter 1　電子顕微鏡序論
1.1 電子顕微鏡の分類
1.2 透過電子顕微鏡の基本機能
1.3 電子顕微鏡の技術革新
1.4 透過電子顕微鏡における制限と課題
1.5 実際に利用するには？

Chapter 2　電子顕微鏡の基礎
2.1 電子顕微鏡の分解能と倍率
2.2 レンズの性能
2.3 加速電圧と分解能
2.4 物質と電子線の相互作用
2.5 電子線の透過能とダメージ
2.6 結晶と回折
2.7 コントラスト
2.8 電子光学系

Chapter 3 ハードウェア
3.1 電子顕微鏡の構成
3.2 電源
3.3 電子銃・加速管
3.4 レンズと補正コイル
3.5 電子光学系１・照射系
3.6 電子光学系２・対物レンズ
3.7 電子光学系３・結像系
3.8 球面収差補正装置
3.9 試料室・試料ホルダー
3.10 観察・記録
3.11 真空系
3.12 冷却水循環系
3.13 制御系
3.14 周辺機器
3.15 設置環境

Chapter 4 透過電子顕微鏡法（TEM）
4.1 回折法：概論
4.2 回折法：制限視野電子回折（SAD）
4.3 回折法：菊池線
4.4 回折法：（収束照射）NBD/CBED
4.5 顕微法：概論
4.6 顕微法：強度コントラスト
4.7 顕微法：位相コントラスト：高分解能電子顕微鏡法
4.8 分光法：概論
4.9 分光法：エネルギー分散型X線分光法（EDS）
4.10 分光法：電子エネルギー損失分光法（EELS）
4.11 特殊実験・周辺機器

Chapter 5 走査透過電子顕微鏡法 (STEM)
5.1 STEM概論
5.2 STEM像のコントラスト
5.3 高分解能STEM

Chapter 6 試料作製法
6.1 試料作製概論
6.2 試料作製・共通項目
6.3 イオン研磨法
6.4 集束イオンビーム（FIB）法
6.5 電解研磨法
6.6 支持膜担持法（分散法・ふり　ほか

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