ＭＥＭＳデバイス徹底入門 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ
発売日：2018年8月
- ISBN
- 978-4-526-07871-2
- 著者情報
- 三田 吉郎（ミタ ヨシオ）
東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学ＶＤＥＣ「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。１９７２年広島県呉市生まれ。１９９１年広島大学附属高等学校卒業。１９９５年東京大学工学部電子工学科卒業、学士。１９９７年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、修士。２０００年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、博士（工学）。２０００年東京大学大規模集積システム設計教育研究センター（ＶＤＥＣ）助手。２００１年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻講師。２００５年同助教授（２００７年准教授へ呼称変更）。２００１年〜大規模集積システム設計教育研究センター協力教員（クリーンルーム大型共用装置担当）。１９９７〜１９９８年フランス国立科学研究センター（ＣＮＲＳ）准研究員。２００７〜２００８年フランス国立情報学研究所（ＩＮＲＩＡ）招聘教授。２０１６〜２０１７年宇宙航空研究開発機構（ＪＡＸＡ）客員准教授。受賞：２０００年丹羽記念賞、２０１３年（第１回）東京大学工学部Ｂｅｓｔ Ｔｅａｃｈｉｎｇ Ａｗａｒｄ。所属学会：電気学会、電子情報通信学会、応用物理学会、ＩＥＥＥ。資格：電話級・電信級・第二級・第一級アマチュア無線技士（ＪＦ４ＣＺＪ／１）、家庭電気初級修理技士。東京大学担当講義：電気磁気学、電子回路２、電子情報機器学、全学体験ゼミナール「マイクロマシンを作ろう」、総合科目「わかる電子回路」ほか
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商品説明
これは、ただの解説本ではない！豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊！
ＭＥＭＳ技術がひととおりわかる、ＭＥＭＳを使ってみたい人のための入門書決定版。
目次
第１章 ＭＥＭＳを“つかう”（電子情報機器の用途―どこでもＭＥＭＳの時代
電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路
百聞は一見に如かず１―秋葉原で買ったＭＥＭＳ大集合 ほか）
第２章 ＭＥＭＳを“わかる”（百聞は一見に如かず２―ばね＋マス＝ＭＥＭＳ構造を理解する
ＭＥＭＳが加速度を感じる仕組み―マスとばねとの力の釣り合い
重なり変化で変位を検知―くし歯静電容量による読み出しの原理 ほか）
第３章 ＭＥＭＳを“つくる”（百聞は一見に如かず４―「実験用ＭＥＭＳ」で見るＭＥＭＳ構造と製法
フォトリソグラフィ大研究―ＭＥＭＳは「積んで、リソして、削って」作る
パターンを転写してＭＥＭＳを形作る―Ｄｅｅｐ ＲＩＥ ほか）
商品詳細
- 出版社名
- 日刊工業新聞社
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
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