Ｘ線反射率法入門「新版」

旧版で好評だった部分の質はそのままに、Ｘ線反射率イメージング・中性子反射率法などの新手法や新しい応用例を追加。待望の改訂版。

【本書の特徴】
・表面・界面におけるＸ線の全反射現象の基礎をわかりやすく説明した。
・実験方法やデータ解析法を具体例とともにていねいに解説した。
・なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの立場から詳細に解説した。
・半導体、磁性体、光学多層膜、固液界面、有機薄膜、液体表面などの応用事例を紹介し、中性子の利用についても取り上げた。
(「近刊情報」より)

目次

１　Ｘ線反射率の基礎
２　Ｘ線反射率の測定装置と測定方法
３　Ｘ線反射率のデータ解析法
４　Ｘ線反射率のデータ解析の注意事項
５　微小領域分析およびイメージングへの展開
６　時々刻々変化する系の追跡への展開
７　Ｘ線反射率法の応用
１．１　光とＸ線
１．２　Ｘ線反射率法の特徴
１．３　膜密度はどのように決まるか
１．４　膜厚はどのように決まるか
１．５　膜の表面・界面粗さはどのように決まるか
他
２．１　Ｘ線反射率測定装置に必要な条件
２．２　Ｘ線反射率測定装置の実際
２．３　反射率の測定方法
２．４　散漫散乱測定
２．５　平行Ｘ線ビームと２次元検出器の組み合わせによる測定
３．１　はじめに
３．２　Ｘ線反射率のデータ解析の前に
３．３　最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順
３．４　単層膜の解析と精度の評価
３．５　多層膜の解析と精度の評価
他
４．１　はじめに
４．２　理論反射率の与えるプロファイルの一意性について
４．３　個々のパラメータのＸ線反射率プロファイルへの寄与の仕方
４．４　最小二乗フィッティング計算に由来する問題
４．５　構造モデルに過度に依存しない解析の試み
他
５．１　顕微鏡・イメージング手法とＸ線反射の融合
５．２　放射光ナノビームによる微小領域分析
５．３　高エネルギー白色Ｘ線による微小領域分析
５．４　画像再構成法によるイメージング
５．５　微小領域分析・イメージングの今後
６．１　はじめに
６．２　多チャンネルＸ線反射率法（Ｎａｕｄｏｎの方法）
６．３　白色Ｘ線反射スペクトル法
６．４　従来の角度走査型の装置によるその場計測
６．５　時々刻々変化する系を追跡するＸ線反射率計測の近未来
７．１　半導体薄膜
７．２　ハードディスク
７．３　Ｘ線光学用多層膜
７．４　電気化学界面などの固液界面
７．５　有機・高分子薄膜
他
８　Ｘ線反射率法と併用すると有意義な関連技術
８．１　微小角入射蛍光Ｘ線分析法
８．２　微小角入射Ｘ線回折法
８．３　共鳴軟Ｘ線スペクトル法
８．４　ＧＩＳＡＸＳ法
８．５　Ｘ線光子相関分光法
９　中性子の利用
９．１　はじめに
９．２　中性子反射光学の基礎
９．３　中性子反射率法の

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