プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
発売日：2017年1月
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商品説明
最先端のプラズマ応用技術を解説！基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。
目次
第１章 プラズマ技術の基礎
第２章 プラズマナノプロセスの物理的基礎
第３章 プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
第４章 ナノエッチング技術
第５章 ナノ材料の基板成長と構造制御
第６章 ナノ粒子の気相合成
第７章 計測技術とプロセス解析
商品詳細
- 出版社名
- 森北出版
- フォーマット
- 単行本
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