よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する あなたの知らない日本の実力がわかる「第２版」
発売日：2016年8月
- 版数
- 第２版
- ISBN
- 978-4-7980-4726-3
- 著者情報
- 佐藤 淳一（サトウ ジュンイチ）
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験
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商品説明
製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる！
目次
半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化（ＣＭＰ）装置
検査・測定・解析装置
後工程装置
商品詳細
- シリーズ名
- 図解入門：Ｈｏｗ‐ｎｕａｌ Ｖｉｓｕａｌ Ｇｕｉｄｅ Ｂｏｏｋ
- 出版社名
- 秀和システム新社
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
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