小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法 μｍからｎｍ寸法のものをつくるための材料，物性，形状，機能の評価法
- ISBN
- 978-4-339-04643-4
- 著者情報
- 肥後 矢吉（ヒゴ ヤキチ）
１９６８年東京工業大学工学部金属工学科卒業。１９７４年東京工業大学大学院博士課程修了（金属工学専攻）、工学博士。東京工業大学精密工学研究所助手。１９８７年東京工業大学精密工学研究所教授。１９９３年東京工業大学精密工学研究所教授。２０１０年東京工業大学名誉教授。立命館大学客員教授。２０１５年立命館大学上席客員研究員
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商品説明
目次
１ シミュレーション
２ 薄膜の弾性定数の精密計測法
３ 微小材料や薄膜の材料強度評価法
４ ３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
５ 動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価
６ 微細なものの接着・接合強度評価
商品詳細
- 出版社名
- コロナ社
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
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