現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ 反応性高速スパッタの実務アドバイス「第２版」
発売日：2015年2月
- 版数
- 第２版
- ISBN
- 978-4-526-07366-3
- 著者情報
- 小島 啓安（コジマ ヒロヤス）
１９７７年、東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。キヤノン（株）に５年間在籍し、半導体露光装置用光学薄膜プロセス、膜設計の開発に従事する。また旭硝子（株）に１２年間在籍し、建築用、自動車用硝子のスパッタプロセス、膜開発に従事する。その後、技術移転会社などを経て２００３年に独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社として（有）アーステックを設立。２００９年８月より名古屋大学客員准教授。２０１２年３月名古屋大学より学位取得
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商品説明
反応性高速スパッタの実務アドバイス。
目次
第１部 基礎編（はじめに
スパッタリングの基礎知識
いろいろなスパッタ法
反応性高速スパッタ法）
第２部 実践編（ターゲットとカソード
アーキング対策とアノード
コンポーネント
膜質）
第３部 応用編（装置
測定
応用
未来へ）
商品詳細
- 出版社名
- 日刊工業新聞社
- フォーマット
- 単行本
注意事項
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