最新シリコンデバイスと結晶技術　先端ＬＳＩが要求するウェーハ技術の現状

本書籍では， シリコンウェーハを作る側と使う側の両面からとらえた書籍を目 論んでおります。ニーズ， シーズの両面から問題点を検討することが， 今後の開発に向けて非常に重要なアプローチであると考えております。

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