走査型プローブ顕微鏡入門
発売日：2013年8月
- ISBN
- 978-4-274-21413-4
- 著者情報
- 秋永 広幸（アキナガ ヒロユキ）
１９９２年筑波大学大学院博士課程工学研究科修了、工学博士。２０１１年独立行政法人産業技術総合研究所ナノデバイスセンター長。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門総括研究主幹
秦 信宏（ハタ ノブヒロ）
１９８０年東京大学大学院理学系研究科修士課程修了。１９８９年工学博士（東京大学）。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門研究主幹
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商品説明
半導体製造に欠かせない走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）がよくわかる本！走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）は、ナノスケール〜原子・分子レベルの試料の形状や物性を観察・測定できるとともに簡単な加工もできる技術で、ナノテクノロジー分野の研究開発に必要不可欠になってきているものです。また、最近では医学・バイオ関連の応用にも有用になってきています。本書は、上記の背景をふまえたうえで、ＳＰＭの基本原理・特長、使い方・活用法、より有効に使うための注意点、応用事例などを解説する実務的な専門書としてまとめたものです。
目次
第１章 走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）
第２章 カンチレバー
第３章 ＳＰＭ測定モードの基礎
第４章 ＳＰＭの基礎的な試料調製と観察方法
第５章 ＳＰＭ観察時の注意点
第６章 より高度なＳＰＭ観察を行うために
第７章 進化するプローブ顕微鏡技術
商品詳細
- 出版社名
- オーム社
- フォーマット
- 単行本
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