薄膜の評価技術ハンドブック
発売日：2013年1月
薄膜の測定・評価技術を網羅したハンドブック
- ISBN
- 978-4-924728-67-7
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商品説明
物質、形状、性質の異なるさまざまな薄膜をより適切に評価するためにはどのようなポイントに留意し、どのような方法を用いたらよいか。
これまでさまざまな薄膜とともに用いられてきた多種多様な評価法を基礎から最先端の評価技術まで含め1冊に網羅。
商品詳細
- 出版社名
- テクノシステム
- フォーマット
- 単行本
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