ものづくり高品位化のための微粒子技術

「悪い微粒子」から製品を守り、「良い微粒子」を造り、より良い製品を生み出すための知恵が満載。「微粒子技術」を体系的に、やさしく学べる。

目次

第１章　総論
第２章　ものづくり現場における微粒子ゴミ発生のメカニズム
第３章　有用な微粒子を作り出す
第４章　微粒子を計測・評価する
第５章　微粒子をハンドリングする
第６章　微粒子から製品・生産設備・人間を保護する
第７章　微粒子を活用する

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