はじめての薄膜作製技術「第２版」
発売日：2012年11月
- 版数
- 第２版
- ISBN
- 978-4-627-77452-0
- 著者情報
- 草野 英二（クサノ エイジ）
１９８３年神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。日本板硝子株式会社入社。１９９５年日本板硝子株式会社退社。金沢工業大学工学部助教授。２００１年金沢工業大学工学部教授。２００８年金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士（工学）
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商品説明
薄膜特有の物性／プラズマ物理の基礎／応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
目次
第１章 薄膜とは
第２章 薄膜作製技術の基礎
第３章 真空蒸着法
第４章 スパッタリング法
第５章 化学気相成長法
第６章 薄膜の評価技術
第７章 薄膜作製技術の応用
商品詳細
- 出版社名
- 森北出版
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
注意事項
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