半導体・ＭＥＭＳのための超臨界流体

気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について，その特長と，乾燥，めっき，薄膜堆積，洗浄など，半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した，超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。

目次

１　超臨界流体とマイクロ・ナノプロセス
２　半導体とＭＥＭＳの製造プロセス
３　超臨界乾燥
４　超臨界流体を用いた半導体・ＭＥＭＳ洗浄技術
５　多孔質薄膜と細孔エンジニアリング
６　めっきへの応用
７　化学的薄膜堆積
８　超臨界流体を用いたエッチング加工

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