ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の応用展開　普及版

2006年『RF MEMS技術の最前線―ワイヤレス時代のキーテクノロジー』普及版

目次

１　総論（ＭＥＭＳ技術の概要
ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の概要）
２　プロセス技術（プロセス基盤技術
ＲＦ　ＭＥＭＳのプロセス技術　ほか）
３　設計技術（ＭＥＭＳ構造体の力学的設計技術
ＭＥＭＳ構造体のＲＦ設計技術）
４　デバイス技術（単結晶シリコンメンブレン型スイッチ
線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ　ほか）
５　応用技術（６０ＧＨｚ帯送・受信フロントエンドモジュール
高効率デュアルバンド増幅器　ほか）

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