機能性無機膜　開発技術と応用　普及版

★ ナノテクノロジーの共通基盤技術として注目される薄膜技術の現状と展望を明らかにした
★ 半導体デバイス、電気・電子部品、機械部品、金型・治工具まで応用が拡がる無機薄膜技術の全容
★ 乾式・湿式薄膜製造プロセス技術、薄膜製造装置技術、薄膜物性評価技術、最新の応用技術とトピックスを纏めた

　本書は2006年に『機能性無機膜の製造と応用』として刊行されました。普及版の刊行にあたり、内容は当時のままであり加筆・訂正などの手は加えておりませんので、ご了承ください。

目次

第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法
ＣＶＤ法　ほか）
第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置
反応性プラズマ蒸着装置　ほか）
第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造
薄膜の密着力および内部応力　ほか）
第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用
シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）
第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品
プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）

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