薄膜工学「第２版」
金原粲／監修 吉田貞史／編著 近藤高志／編著 日本学術振興会薄膜第１３１委員会／編集企画
発売日：2011年6月
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商品説明
薄膜という幅広い分野を平易に解説。学生や企業の若手が基礎や隣接分野を理解するのに最適。半導体や新作製技術などを中心に改訂。
目次
１ 薄膜工学の基礎（薄膜の基礎
薄膜のプロセスと応用）
２ 薄膜の作製法（真空蒸着
スパッタリング
化学気相成長法）
３ 薄膜の評価（形状・構造評価
組成評価・分析
力学的・機械的性質の評価）
４ 薄膜の機能と応用（半導体薄膜
光学薄膜と透明導電膜
誘電体薄膜
磁性薄膜
薄膜の化学的性質と機能
有機薄膜）
商品詳細
- 出版社名
- 丸善出版
- フォーマット
- 単行本
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