はじめての半導体プロセス

工業調査会の書籍。半導体プロセスを基本要素に分けた基本プロセスと、それらの組合せで構成されるプロセスモジュールを中心に半導体プロセスについてわかりやすく解説します。

［著者プロフィール］１９３５年東京生れ。１９５９年横浜国立大学化学工業科卒。１９５９年〜７８年富士通株式会社勤務。１９７７年東京大学より工学博士号授与。１９７８〜８２年パイオニア株式会社勤務。１９７９年米国半導体装置材料協会よりＳＥＭＭＹ賞授与。１９８２〜８８年アプライドマテリアルズジャパン株式会社勤務。１９８８年株式会社半導体プロセス研究所設立、現在に至る。

目次

１章　はじめての半導体プロセス
２章　半導体デバイスの種類と構造
３章　半導体プロセスの技術史
４章　半導体プロセスの概要
５章　基本プロセス技術
６章　複合プロセス技術―プロセスインテグレーション
７章　プロセス技術と装置・材料
８章　新しいプロセス技術のニーズ
９章　これからの半導体プロセス

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