はじめての半導体製造装置
発売日：2011年8月
- ページ数
- ２４９ｐ
- ISBN
- 978-4-7741-4750-5
- 著者情報
- 前田 和夫（マエダ カズオ）
１９５９年横浜国立大学工学部化学工学科卒業。１９５９〜１９７８年富士通（株）勤務。１９７７年東京大学より工学博士号授与。１９７８〜１９８２年パイオニア（株）勤務。１９７９年米国ＳＥＭＩ（半導体装置材料協会）よりＳＥＭＭＹ賞授与。１９８２〜１９８８年アプライドマテリアルジャパン（株）勤務。１９８８年（株）半導体プロセス研究所設立。２００８年９月逝去
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商品説明
工業調査会の書籍。本書は半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように解説しています。
［著者プロフィール］１９３５年東京生れ。１９５９年横浜国立大学化学工業科卒。１９５９年〜７８年富士通株式会社勤務。１９７７年東京大学より工学博士号授与。１９７８〜８２年パイオニア株式会社勤務。１９７９年米国半導体装置材料協会よりＳＥＭＭＹ賞授与。１９８２〜８８年アプライドマテリアルズジャパン株式会社勤務。１９８８年株式会社半導体プロセス研究所設立、現在に至る。
目次
０章 半導体製造装置という世界
１章 半導体デバイスの製造工程
２章 半導体製造装置の技術史
３章 半導体製造装置の種類と役割
４章 半導体製造装置の構成と方式
５章 各種半導体製造装置の概要
６章 半導体製造装置の現場
７章 半導体製造装置の技術要素
８章 半導体製造装置技術のロードマップ
９章 ２１世紀の半導体製造装置―半導体製造装置進化論
商品詳細
- シリーズ名
- 現場の即戦力
- 出版社名
- 技術評論社
- サイズ
- ２１ｃｍ
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
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