分光エリプソメトリー「第２版」
発売日：2011年5月
- 版数
- 第２版
- ページ数
- ３６９ｐ
- ISBN
- 978-4-621-08322-2
- 著者情報
- 藤原 裕之（フジワラ ヒロユキ）
１９９１年早稲田大学理工学部応用化学科卒業。１９９６年東京工業大学大学院博士課程修了、博士（工学）。１９９６年ペンシルバニア州立大学研究員。１９９８年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。２００１年独立行政法人産業技術総合研究所研究員。２００３年同研究所主任研究員。２００７年同研究所太陽光発電研究センター研究チーム長。２００８年国立大学法人岐阜大学工学部教授。同大学未来型太陽光発電システム研究センター部門長
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商品説明
分光エリプソメトリーについて「光学異方性の測定評価」を加えるとともに、内容を理解しやすいように全体的に説明を増やした第２版。
目次
第１章 分光エリプソメトリーとは
第２章 光学の基礎
第３章 偏光
第４章 分光エリプソメトリーの原理
第５章 データ解析
第６章 光学異方性の評価
第７章 材料別解析例
第８章 分光エリプソメトリーによる実時間観測
商品詳細
- 出版社名
- 丸善出版
- サイズ
- ２１ｃｍ
- フォーマット
- 単行本
注意事項
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