はじめてのＭＥＭＳ
発売日：2011年3月
- ページ数
- ２３０ｐ
- ISBN
- 978-4-627-78491-8
- 著者情報
- 江刺 正喜（エサシ マサヨシ）
１９７１年東北大学工学部電子工学科卒業。１９７６年東北大学大学院博士課程修了、東北大学工学部助手。１９８１年東北大学工学部助教授。１９９０年東北大学工学部教授。１９９５〜１９９８年東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー長。２００６〜２００９年東北大学大学院工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センター長。現在、東北大学原子分子材料科学高等研究機構（ＷＰＩ‐ＡＩＭＲ）教授。東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）センター長。半導体センサ、マイクロマシーニングによる集積化システム、ＭＥＭＳの研究に従事し、研究開発において先導的な役割を果たしてきた
セブン-イレブン受取り(送料無料)
発送目安
発売日（発売日以降は当日）～2日で発送
宅配（送料¥550税込）
発送目安
発売日（発売日以降は当日）～2日で発送
交通状況・天候の影響や注文が集中した場合等、お届けにお時間をいただく場合がございます。
商品説明
最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳをわかりやすく解説。
目次
第１章 マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ
ＭＥＭＳの歴史）
第２章 ＭＥＭＳの製作（パターニング
エッチング
堆積と応力制御
接合
複合バランス
集積化
パッケージングと組立
設計・評価）
第３章 ＭＥＭＳの要素（センサ
アクチュエータ
エネルギー源）
第４章 ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用
情報・通信応用
製造・検査応用
医療・バイオ応用
ＭＥＭＳビジネス）
商品詳細
- 出版社名
- 森北出版
- サイズ
- ２１ｃｍ
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
注意事項
- 本の帯に関して
- 帯つきでの出荷はお約束しておりません。
商品ページに、帯のみに付与される特典物等の表記がある場合でも、確実に帯つきでの出荷はお約束しておりません。
また、帯は商品の一部ではなく「広告扱い」のため、帯の有無・破損による交換や返品は承っておりません。 - 版・表紙について
- 版・表紙（カバー）のご指定は承っておりません。ご注文いただくタイミングによっては、お届けする商品の版や表紙が商品ページ上のものとは異なる場合がございます。
また、初版にのみにお付けしている特典（初回特典、初回仕様特典）がある商品は、商品ページに特典の表記がされている場合でも、無くなり次第終了となります。
