ナノインプリント技術および装置の開発 普及版

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ナノテクノロジーの必須技術であるナノ加工について

ページ数
213p
ISBN
978-4-7813-0302-4

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商品説明

総論では転写方式周辺技術を述べながら、第2章転写方式(熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ室温ナノインプリント技術)、第3章では装置と関連部材(ナノインプリント装置モールド)を、第4章ではデバイス応用(電子・磁気・光学デバイス光デバイス)を詳述しています。

目次

第1章 総説(転写方式
周辺技術 ほか)
第2章 転写方式(熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ
室温ナノインプリント技術 ほか)
第3章 装置と関連部材(ナノインプリント装置
モールド ほか)
第4章 デバイス応用(電子・磁気・光学デバイス
光デバイス ほか)

商品詳細

シリーズ名
〔CMCテクニカルライブラリー〕 383 エレクトロニクスシリーズ
出版社名
シーエムシー出版
サイズ
21cm
フォーマット
単行本

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