「薄膜」のキホン 原子に迫る超微細・超高密度の世界
発売日：2010年9月
- ISBN
- 978-4-7973-5713-4
- 著者情報
- 麻蒔 立男（アサマキ タツオ）
１９３４年、愛知県生まれ。１９５７年に静岡大学工学部電子工学科を卒業後、日本電気株式会社に入社、１９６７年から日電バリアン（現キヤノンアネルバ）に出向。１９９０年より２０１０年まで東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。工学博士
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商品説明
わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのかなどを紹介。
目次
第１章 よい暮らしは美と微から
第２章 真空は薄膜づくりの貴重な環境
第３章 薄膜をつくろう
第４章 薄膜には独特の性質が表れる
第５章 基板と薄膜を強く結びつけるための技術
第６章 薄膜づくりにはプラズマが大切
第７章 古くから用いられた蒸着法
第８章 大面積ソース・量産向きのスパッタ法
第９章 気体から薄膜をつくる気相成長法
第１０章 液体の中で薄膜をつくる―めっき
第１１章 薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング
第１２章 薄膜を使って前進―その可能性はかぎりない
商品詳細
- シリーズ名
- イチバンやさしい理工系 ＳＢＥ－００６
- 出版社名
- ＳＢクリエイティブ
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
注意事項
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