プラズマ工学

プラズマ工学は光源や半導体・太陽電池製造になくてはならない技術として、あるいは人口の太陽をつくり発電を行う核融合発電の現実を目指した科学技術として発展してきました。プラズマは現象の難しさもあり理解が難しいと言われていますが、本文は可能な限りわかりやすくするようにしています。また、プラズマ現象の理解を容易にするため、超粒子シミュレーションの結果を取り入れました。

目次

第1章　プラズマとは
プラズマ研究の歴史
プラズマの定義
プラズマの応用例
本書の構成
練習問題
第2章　プラズマの発生・維持
放電開始
各種放電プラズマ
　直流放電
　高周波放電
　マイクロ波放電
練習問題
第3章　プラズマを記述する方程式とプラズマの特性
マクスウェルの方程式とプラズマの特性
　デバイス遮蔽と境界領域
　(電子)プラズマ振動
流体方程式とプラズマの電導率と誘電率
　流体方程式
　プラズマの電導率と誘電率
練習問題
第4章　プラズマ内の波
波の分散関係の求め方
プラズマを記述する方程式の線形化
電子プラズマ波とイオン音波
練習問題
第5章　拡散とプラズマ密度分布
拡散係数
拡散方程式と定常状態での密度分布
密度分布の時間変化
練習問題
第6章　プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源
電子温度と密度の推定
　電子温度の推定
　密度の推定
容量結合形プラズマ源
　等価回路
　電子温度・密度の推定
　整合回路
練習問題 　ほか

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