生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製

発売日：2006年11月

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商品説明

本書では，薄膜作製技術をできるだけ物理あるいは化学の知識に基づいて捉えると同時に，現場で役に立つ指針となる基盤技術を解説することを主眼として編集された。先にも述べたように真空あるいはプラズマを用いる薄膜作製技術は，装置に対する依存性が大きな生産技術である。

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