高付加価値のための精密研磨

今日の高付加価値なハイテク製品では、さらなる小型化・軽量化、高機能化の要求に伴い加工面の表面粗さや寸法精度もよりいっそうの精密化が要求されるため研磨技術が重要な役割を担う。本書は、高付加価値製品の生産に不可欠な精密研磨の各種加工法、工具・装置、実例を解説する。

目次

第１部　加工法編（ラッピング・ポリシング
メカノケミカルポリシング
ケミカル・メカニカルポリシング　ほか）
第２部　工具・装置編（一般砥粒
超砥粒
研磨液　ほか）
第３部　実例編（水晶基板
磁気ヘッド
磁気ディスク基板　ほか）

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