放電プラズマ工学

プラズマの応用に必要な放電・プラズマの基礎を必要充分に解説。

目次

１章　プラズマとは
２章　プラズマの発生形態と回路技術
３章　気体および荷電粒子の運動
４章　プラズマの集団的性質とプラズマ計測
５章　環境改善へのプラズマ応用
６章　材料プロセスへのプラズマ応用
７章　光源へのプラズマ応用
８章　熱プラズマ加工技術

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