高機能化のためのＤＬＣ成膜技術

本書は、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の代表的な成膜技術の特徴および工業的な応用事例、課題、将来展望などを紹介、解説する。DLCの基礎を習得するとともにそれぞれの用途に応じて正しく使うための指針がわかる。

目次

第１章　ＤＬＣ膜と成膜技術（ＤＬＣ膜とは
ＤＬＣ膜の特性　ほか）
第２章　ＤＬＣコーティングの市場（ＤＬＣコーティング市場の定義と市場動向
ＤＬＣコーティングの受託加工推移　ほか）
第３章　ＤＬＣ膜の工業的応用（イオン化蒸着法によるＤＬＣ膜の特性と応用
Ｐ‐ＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の特性と応用　ほか）
第４章　今後の開発課題（ＤＬＣ膜のさらなる品質向上について
生産技術について　ほか）

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