絵とき放電技術基礎のきそ
発売日：2007年8月
- ISBN
- 978-4-526-05865-3
- 著者情報
- 小林 春洋（コバヤシ ハルヒロ）
大正１４年福島県に生まれる。昭和２４年東北大学電気工学科卒業、東北大学工学部大学院特別研究生。昭和３１年東北大学工学部助教授、日本電気株式会社。昭和３３年工学博士（東北大学）。昭和４８年日電バリアン（株）（現キヤノンアネルバ（株））。昭和６０年（株）トーキン。昭和６３年同退職。１９７１〜１９８９東京都立大学工学部電気工学科非常勤講師。１９９１〜２００２東京電機大学工学部電子工学科非常勤講師。１９９２〜１９９５中央大学理工学部兼任講師
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商品説明
ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
目次
第１章 放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは
高度情報化社会を支える放電技術 ほか）
第２章 物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子
電子の３つの顔 ほか）
第３章 放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突
放電開始 ほか）
第４章 放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜
プラズマＣＶＤ ほか）
第５章 プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録
超ＬＳＩ ほか）
商品詳細
- シリーズ名
- Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｓｅｒｉｅｓ
- 出版社名
- 日刊工業新聞社
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
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