よくわかる真空技術

近年、めざましい発展を遂げるエレクトロニクス分野では、真空中で作られる薄膜を利用した製品が数多く使われています。それはこれらのデバイスの超小型化、高機能化・高信頼性、省資源化、低コスト化に対して、薄膜が大きく貢献しているからです。そしてこうした電子・電気・通信分野だけでなく、材料分析や医薬品・食品、エネルギー・環境など、多くの最先端技術において真空は、その発展を支えています。本書は、こうした真空をつくり出して利用する方法・技術をなるべくやさしく紹介しています。

基礎から精密製造装置・表面加工処理まで、真空技術についての知識が一通り身につく。

目次

１章　真空とはどのような状態をいうのだろうか（「真空」とは空間に何もない状態ではない
真空を作るには、空間から気体分子を吸い出す　ほか）
２章　真空を利用した生活用品一身のまわりにある真空技術（水分を凍らせて低圧で昇華させる凍結真空乾燥
真空内で沸点の違いを利用する真空蒸留　ほか）
３章　真空のつくり方・計り方（つくる装置／計る装置）（真空をつくる基本的な装置　排気セット
実際の排気セットは主ポンプ・補助ポンプ＋各装置　ほか）
４章　真空を利用した薄膜加工技術（真空を利用した薄膜堆積法にはいろいろな方法がある
ＰＶＤの代表的手法スパッタ成膜法　ほか）
５章　真空産業の将来（真空技術の新しい活用（１）ナノパーティクル
真空技術の新しい活用（２）カーボンナノチューブ　ほか）

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