マイクロマシン技術 普及版
発売日：2007年2月
- ISBN
- 978-4-88231-912-2
- 著者情報
- 北原 時雄（キタハラ トキオ）
湘南工科大学工学部機械工学科教授
石川 雄一（イシカワ ユウイチ）
産業技術総合研究所機械システム研究部門総括研究員。（現）（独）産業技術総合研究所臨海副都心センター所長代理
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商品説明
［基礎編］
第1章 マイクロファブリケーション
1． 総論（石川雄一）
1．1 各種微細加工技術の特徴
1．2 マイクロファブリケーションにおける留意点
2． シリコンプロセス（太田亮）ほか
目次
基礎編（マイクロファブリケーション
マイクロ駆動機構（アクチュエータと機構）
マイクロエネルギーデバイス
マイクロメカニカルセンサ）
応用編（マイクロ加工表面修飾による新機能発現
マイクロデバイス
トータルマイクロシステム）
商品詳細
- シリーズ名
- ＣＭＣテクニカルライブラリー ２５０
- 出版社名
- シーエムシー出版
- フォーマット
- 単行本
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