絵とき薄膜基礎のきそ

初心者向けに薄膜が作られる原理や、薄膜を作るにはどのような方法があり、それぞれどのような特徴があるのか、またできた膜をどのように評価するのか、など薄膜作成のひととおりを絵解きでわかりやすく解説した入門書。薄膜を身近に感じてもらう工夫をしてある。

目次

第１章　薄膜に頼る電子技術の進歩
第２章　薄膜の基礎になる物理常識
第３章　薄膜を作る方法
第４章　薄膜の成長過程、基本特性、評価
第５章　よい薄膜を作る条件
第６章　垂直磁気記録と薄膜
第７章　ＬＳＩ、量子効果デバイスとスピントロニクス

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