薄膜の力学的特性評価技術　トライボロジー・内部応力・密着性

薄膜の応用の広さは今更言うまでもない。それに伴って薄膜の物性研究も盛んに行われ、多くの有用なデータが集積されてきている。研究の現況が把握できるように、目下この方面で活発な研究活動に従事している研究者、技術者に最大限の労力とデータの提供をお願いした。

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