光リソグラフィ技術　　　２－計測と制御－

今回は、前書の続編としてリソグラフィにおける計測と制御技術を紹介する。先ずリソグラフィの規格を決めるために、デバイス特性とリソグラフィの関係、誤差因子を特定するバジェット化の手法、寸法・合わせずれ計測技術、プロセス制御を始めとするe-manufacturingの現状と課題に関して述べる。

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