クラスターイオンビーム基礎と応用　次世代ナノ加工プロセス技術

本書は、イオンビーム技術の発展を、その技術的背景もあわせて示しながら、イオンビーム技術に初めて接する初心者にもわかりやすく説明しています。

目次

１　イオンビーム技術の概要（イオンの発見
イオンビーム技術の誕生　ほか）
２　ガスクラスタービームの発生（ガスクラスタービームの発生の原理
ガスクラスターイオンビーム装置　ほか）
３　クラスターイオンビームと固体表面相互作用（クラスターイオンの個体表面衝突現象
ガスクラスターイオンの照射効果の特長　ほか）
４　ナノ加工プロセス応用（半導体デバイス応用
磁性・誘電体デバイス応用　ほか）
５　産業用クラスターイオンビーム装置（ガスクラスターイオンビーム装置
デカボランイオン注入装置）

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