超精密加工の基礎と実際

工業製品のハイテク化に伴い、製品を構成する部品に要求される精度はますます高くなっており、それを実現するため加工技術の超精密化が求められている。本書は、超精密化が進む各種加工法の基礎とその実例を各加工法の第一線の研究者が解説する。

目次

序章　超精密加工が今なぜ求められるのか
第１章　切削加工
第２章　研削加工
第３章　研磨加工
第４章　高エネルギービーム加工
第５章　マイクロ・ナノ加工

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