機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

マイクロデバイス加工の要素技術について、その物理・化学の基本原理を解説する。

目次

第１章　導入
第２章　真空と気体分子運動論
第３章　プラズマの基礎
第４章　物理蒸着法（ＰＶＤ）
第５章　薄膜の形成過程
第６章　エッチング
第７章　フォトリソグラフィ
付録Ａ　基礎定数表と真空の単位
付録Ｂ　材料の科学についてのノート
付録Ｃ　分布関数とマックスウェル―ボルツマン分布
付録Ｄ　対数目盛と対数グラフ

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