ナノ電子光学

近年、電子ビーム、イオンビームは超微細加工を行うプロセス技術として、また走査電子顕微鏡などの分析・測定技術としてナノテクノロジーの基盤技術となっている。本書は、これら技術の基礎となる電子・イオンビームの軌道理論を具体例に即して体系的に解説した。

ナノテクノロジーの加工技術、分析・測定技術で重要な電子ビーム、イオンビームの軌道理論を、具体例に即して解説。

目次

均一な静電・磁界中の電子軌道
電界および磁界
回転対称電磁界中の近軸軌道とその特性
回転対称電磁界によるレンズ収差
空間電荷効果
初速度分布の効果と電流密度分布
位相図とビーム径方程式
４極子レンズ
偏向器
プリズムと分光器
電子銃
イオン源
パルスビームと走行時間効果
変分法による軌道解析
収差理論
対物レンズの収差補正

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