レジスト材料

高分子材料“レジスト”は電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。その開発の第一人者が歴史・現在・未来を語る。

目次

第１章　リソグラフィ技術による微細加工とレジスト（レジストとは何か？
レジストの分類
レジストに要求される性能と特性評価法）
第２章　レジスト材料とリソグラフィ技術の発展の歴史（架橋ネガ型レジスト
ポジ型フォトレジスト　ほか）
第３章　化学増幅レジスト（酸触媒反応―増幅の化学
酸発生剤　ほか）
第４章　現状と将来
第５章　おわりに

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