わかる集積回路の秘密
発売日：2004年5月
- ISBN
- 978-4-89019-235-9
- 著者情報
- 上西 勝三（カミニシ カツゾウ）
１９６１年東北大学工学部通信工学科卒業、同年、沖電気工業（株）に入社。研究開発部門でミリ波電子管、シリコンビジコン、シリコン高周波トランジスタ、ＭＩＣ、ＦＡＸ用サーマルヘッド、ＧａＡｓ集積回路、３次元素子、ＳＡＷフィルタ、ＴＦＴ液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイなどの研究開発に従事。１９８０年東北大学より工学博士。１９８６年沖電気・半導体技術研究所所長。１９９４年東京都科学技術功労者賞。１９９５年カシオ計算機（株）。１９９９年〜岡谷電機産業（株）。茨城大、日本工業大、東京高専で非常勤講師
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商品説明
本書の目的は集積回路を理解する入門書としてだけでなく、一般産業界、経済界の人たちにも集積回路の基本的なことについて理解してもらうことである。
目次
１章 集積回路の発展
２章 集積回路の基礎
３章 設計および材料の準備と工程
４章 酸化膜と不純物拡散
５章 金属膜と絶縁膜の成膜
６章 ホトリソとエッチング
７章 クリーン化と洗浄
８章 組立・信頼性と検査
９章 集積回路の今後
商品詳細
- 出版社名
- 日本理工出版会
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
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