半導体製造装置の信頼度向上　信頼度の基本

本書の狙いは、半導体メーカーが設備信頼度向上の観点からコスト削減の方向を見いだすことである。また半導体設備メーカーが世界市場で競合に打ち勝つための、設備信頼度向上の取り組み全般を、日米双方の視野から展望しようとするものである。

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