シリーズ：結晶成長のダイナミクス ４巻「エピタキシャル成長のフロンティア」
西永頌／シリーズ編集委員 宮沢信太郎／シリーズ編集委員 佐藤清隆／シリーズ編集委員
発売日：2002年6月
- 巻の著者
- 中嶋一雄／責任編集
- 巻の書名
- エピタキシャル成長のフロンティア
- ISBN
- 978-4-320-03413-6
- 著者情報
- 中嶋 一雄（ナカジマ カズオ）
１９７５年３月京都大学大学院工学研究科博士課程学修。１９７７年３月京都大学工学博士の学位取得。現在、東北大学金属材料研究所教授、工博
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商品説明
本書は最新のエピタキシャル成長に関わるトピックを結晶成長という視点で判りやすく解説する。対象材料はIII-V族，II-VI族化合物半導体，Si半導体，シリサイド，誘電体から有機分子まで多岐にわたる。また，層状成長から量子ドットや量子細線のようなナノ構造までを含め，エピタキシャル成長に関する主なトピックを網羅している。
目次
１ 格子不整合系のエピタキシャル成長の欠陥制御
２ ナノ構造のエピタキシャル成長
３ 磁性半導体のエピタキシャル成長
４ 超ＬＳＩ周辺におけるエピタキシャル
５ プラズマ励起エピタキシー
６ 巨大分子のエピタキシャル成長
商品詳細
- 出版社名
- 共立出版
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
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