光マイクロマシン

本書では、最新の光マイクロマシンを例にしながら、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や新しい光マイクロマシンの提案ならびに設計ができるための基礎を与えることができることに主眼をおいている。

目次

第１部　光マイクロマシン（光スイッチ、ミラーアレイ、減衰器
ディスプレイ、スキャナ
スペクトロメータ、波長可変光学素子　ほか）
第２部　光マイクロマシン光学（光の反射・屈折
干渉
回折　ほか）
第３部　材料、ファブリケーション、パッケージング（光学素子
ファブリケーション
表面理工学　ほか）

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