トコトンやさしい薄膜の本

発売日：2002年8月

ISBN: 978-4-526-04999-6
著者情報: 麻蒔　立男（アサマキ　タツオ）
昭和９年愛知県に生まれる。昭和３２年静岡大学工学部電子工学科卒業、日本電気株式会社に入社。昭和４２年日電バリアン（現、アネルバ）株式会社設立と同時に出向。昭和４９年工学博士。昭和５１年〜５２年日本真空協会理事、研究部会長。昭和６１年日電アネルバ（株）取締役。平成２年東京理科大学教授、平成１年〜９年日本真空協会個人理事。昭和６０年高速スパッタ装置の発明により東京都知事賞受賞（関東地方発明表彰）。平成１３年第２６回技術賞受賞（日本真空協会）。現在、東京理科大学嘱託教授。日本真空協会評議員

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商品説明

本書では、“とことんやさしい薄膜”を心がけ、多くの方に「薄膜」がどんなものであるか、どんな新しいことができるか、わかっていただけるように努めた。

第１章　人類の夢を実現する薄膜
第２章　薄膜作成に欠かせない真空
第３章　薄膜の構造と性質、その作成法
第４章　蒸着法で作る薄膜
第５章　スパッタ法で作る薄膜
第６章　気相成長（ＣＶＤ）法で作る薄膜
第７章　めっき薄膜
第８章　エッチングと平坦化の技術

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