シリーズ：結晶成長のダイナミクス　３巻「エピタキシャル成長のメカニズム」

本巻では、エピタキシャル成長の熱力学、結晶成長のカイネティクス、基板の表面状態とエピタキシャル成長、ヘテロエピタキシャル成長といった、エピタキシャル成長にとって最も基本となり重要なテーマを取り上げ解説している。成長方法は、最も基本となる液相エピタキシャル成長、気相エピタキシャル成長、分子線エピタキシャル成長の３方法を取り上げた。

目次

１　基本概念（エピタキシャル成長の基礎
結晶成長に影響を与える因子
成長モード）
２　エピタキシャル成長の熱力学（固液平衡からの成長（ＬＰＥ）
固気平衡からの成長）
３　結晶成長のカイネティクス（成長表面のカイネティクス
溶液成長における溶質元素の拡散
気相成長の物質輸送効果）
４　基板の表面状態とエピタキシャル成長（面方位とエピタキシャル成長
微傾斜面とエピタキシー
サーファクタントを利用した成長）
５　ヘテロエピタキシャル成長（ヘテロエピタキシャル成長と格子整合
ヘテロ構造の応力・歪み）

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