集積回路工学
発売日：2001年10月
- ISBN
- 978-4-89019-213-7
- 著者情報
- 上西 勝三（カミニシ カツゾウ）
１９６１年東北大学工学部通信工学科卒業。同年、沖電気工業（株）に入社。研究開発部門でミリ波電子管、シリコンビジコン、シリコン高周波トランジスタ、ＭＩＣ、ＦＡＸ用サーマルヘッド、ＧａＡｓ集積回路、３次元素子、ＳＡＷフィルタ、ＴＦＴ液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイなどの研究開発に従事。１９８０年東北大学より工学博士。１９８６年沖電気・半導体技術研究所所長。１９９４年東京都科学技術功労者賞。１９９５年カシオ計算機（株）。１９９９年〜岡谷電機（株）。茨城大、日本工業大、東京高専で非常勤講師
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商品説明
集積回路プロセス技術は，集積回路の仕事に関わる技術者だけでなく，
電気系の技術者，一般の技術者にとっても重要です．
本書は，集積回路全般を解説し，最新の技術を紹介しています．
目次
半導体産業の影響
モノリシック集積回路
シリコン単結晶
酸化膜
拡散と接合の形成
ホトリソグラフ
洗浄・薬品・純水
エッチング
クリーン技術
成膜技術
組立・実装技術
集積回路の信頼性
今後の課題
商品詳細
- 出版社名
- 日本理工出版会
- 対象年齢
- 一般
- フォーマット
- 単行本
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