荷電粒子ビーム工学
発売日:2001年5月
- ISBN
- 978-4-339-00734-3
- 著者情報
- 石川 順三(イシカワ ジュンゾウ)
1968年京都大学工学部電子工学科卒業。1970年京都大学大学院修士課程修了(電気工学第二専攻)。1981年工学博士(京都大学)。1984年京都大学助教授。1989年京都大学教授。現在に至る
沼崎 一郎(ヌマザキ イチロウ)
ミシガン州立大学大学院博士課程修了(Ph.D.)、東北大学大学院文学研究科助教授。専攻は、文化人類学、東アジア研究、人権論、男性学。1997年9月より、キャンパス・セクシュアル・ハラスメント全国ネットワーク東北ブロック代表として、大学におけるセクシュアル・ハラスメント問題に取り組む。夫婦別姓選択制実現と婚外子差別撤廃のための民法改正運動、支配的な「男らしさ」を問い直す男性運動にも参加。育児と市民運動の両立を目指す一児の父
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商品説明
本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。
目次
1 荷電粒子ビームの特質と利用形態
2 電子とイオン
3 電子の発生とビーム形成
4 イオンの発生とビーム形成
5 ビーム輸送と操作
6 ビームと固体原子の相互作用
7 高周波エネルギー変換デバイス
8 荷電粒子ビーム装置
商品詳細
- 出版社名
- コロナ社
- フォーマット
- 単行本
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