ＳｉＣ系セラミック新材料　最近の展開

日本学術振興会第124委員会「SiC研究分科会」において、先端研究者が各自得意分野を調査・研究した。その成果を主体として、委員以外の研究者の協力執筆も加え編纂した貴重な成書である。

目次

１　ＳｉＣ材料の基礎（ＳｉＣ材料の開発と特性
ＳｉＣ結晶構造と熱安定性　ほか）
２　ＳｉＣ粉末の合成とＳｉＣ単結晶の育成（焼結用α‐ＳｉＣ粉末の合成
焼結用β‐ＳｉＣ粉末の合成　ほか）
３　ＳｉＣ焼結体（ホウ素化合物によるＳｉＣの焼結
酸化物助剤によるＳｉＣの焼結と組織制御　ほか）
４　新しいＳｉＣ材料とその応用（半導体製造装置用高純度ＳｉＣ部品
原子力産業用ＳｉＣ材料　ほか）
５　付表・付録（付表
ＳｉＣの多形のＸ線回折による定量分析方法）

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